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TESCAN MAIA3分析用扫描电子显微镜

简要描述:MAIA3是新开发的分析用扫描电子显微镜,它可以得到在15kV下1nm的超高分辨率。采用二次电子信号,在1kV下分辨率为1.4nm。此型号电镜配备肖特基场发射电子枪,以及TESCAN先进的三透镜电子光学系统。相比于常规物镜,它采用了TESCAN独特构造的60度磁浸没物镜,它能显著地减小光学像差,在低电压下依然有着超高的分辨率。

  • 产品型号:MAIA3
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2015-10-22
  • 访  问  量:795

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TESCAN MAIA3分析用扫描电子显微镜

MAIA3是新开发的分析用扫描电子显微镜,它可以得到在15kV1nm的超高分辨率。采用二次电子信号,在1kV下分辨率为1.4nm。此型号电镜配备肖特基场发射电子枪,以及TESCAN先进的三透镜电子光学系统。

相比于常规物镜,它采用了TESCAN独特构造的60度磁浸没物镜,它能显著地减小光学像差,在低电压下依然有着超高的分辨率。另外,添加的中磁透镜可以和物镜同时使用或者代替物镜观察,以提供多种显示模式。

zui重要的特性:

u  具有非凡分辨率的单极60度角物镜;

u  无场模式用于磁性样品的观察;

u  高亮度肖特基电子枪可得到高分辨率/高束流/低噪声的图像;

u  镜筒中的In-Beam二次电子探测器用于小工作距离条件下二次电子的检测;

u  *的三透镜大视野观察设计,提供了多种工作模式和显示模式,体现了TESCAN专有中间透镜IML的功能;

u  实时电子束追踪技术,可模拟和进行束斑优化,包括直接和连续控制电子束束斑和束流大小;

u  电子束减速模式在低电压下获取优秀的分辨率(选配)

u  In-Beam背散射电子探测器用于小工作距离的背散射电子成像;

u  成像速度快;

u  高通量大面积自动化,例如自动颗粒分布和分析;

u  计算机优化、马达驱动的样品台;

u  利于EDXEBSD分析的理想几何设计;

u  由于使用了强力的涡沦分子泵和机械泵,因而可以快速简单得到干净的真空样品室;电子枪的真空度由离子泵来维持;

u  包括电子光学设置和校准的全自动显微镜设置;

u  完善的软件用于SEM控制,图像采集、存档、处理和分析;多用户多语言操作界面;

u  网络操作和内置的远程控制/诊断是TESCAN的标准配置;

u  独特的3维电子束技术用于获得实时立体图像。


袁文军  +86-21-31255909    +86-21-      :yuanwenjun@sunano.com.cn


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