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  • ICP-LP-PE-CVD多功能宽密度等离子体

    NextCVD等离子体改性及刻蚀多功能宽密度等离子体国内的电感耦合等离子体都是基于中频13.56MHz的电源发生器,等离子体密度较低,而且是螺旋管式,主要用于等离子体刻蚀,不适宜用于沉积高质量薄膜。

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    产品价格:面议
    厂商性质:生产厂家
    更新日期:2021-09-24
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