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激光共聚焦扫描显微镜

简要描述:激光共聚焦扫描显微镜通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。在测量和检测微观三维结构,如半导体晶片,FPD产品,MEMS设备,玻璃基板,材料表面等方面拥有解决方案。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2021-09-15
  • 访  问  量:212

详细介绍

激光共聚焦扫描显微镜是一种准确、可靠的三维(3D)扫描系统,通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。在测量和检测微观三维结构,如半导体晶片,FPD产品,MEMS设备,玻璃基板,材料表面等方面拥有*的解决方案。

Features & Benefits(性能及优势):

高分辨无损伤光学3D测量                               自动倾斜补偿

实时共焦成像                                                 简单的数据分析模式

多种光学变焦                                                 双Z扫描

大范围拼接                                                    半透明基材的特征检测

实时CCD明场和共聚焦成像                            无样品准备

自动聚焦

Application field(应用领域):

NS-3500是测量低维材料的有前途的解决方案。

可测量微米和亚微米结构的高度,宽度,角度,面积和体积,例如

-半导体:IC图形,凹凸高度,线圈高度,缺陷检测,CMP工艺

- FPD产品:触摸屏屏幕检测,ITO图案,LCD柱间距高度

- MEMS器件:结构三维轮廓,表面粗糙度,MEMS图形

-玻璃表面:薄膜太阳能电池,太阳能电池纹理,激光图案

-材料研究:模具表面检测,粗糙度,裂纹分析

Specification(激光共聚焦扫描显微镜规格):

Model

Microscope  NS-3500

备注

 

Controller    NS-3500E

物镜倍率

10x

20x

50x

100x

150x

 

观察/  测量范围

水平 (H): μm

1400

700

280

140

93

 

垂直 (V): μm

1050

525

210

105

70

 

工作范围: mm

16.5

3.1

0.54

0.3

0.2

 

数值孔径(N.A.)

0.30

0.46

0.80

0.95

0.95

 

光学变焦

x1 to x6

 

总放大倍率

178x to 26700x

 

观察/测量光学系统

针孔共聚焦光学系统

 

高度测量

测量扫描

长扫描 : 10 mm

 

显示分辨率

0.001 μm

 

重复率 σ

0.010 μm

注 1以100×/ 0.95物镜对标准样品(步长1μm)进行100次测量。

宽度测量

显示分辨率

0.001 μm

 

重复率 3σ

0.02 μm

注 2 :以100×/ 0.95物镜对标准样品(5μm间距)进行100次测量

帧记忆

像素

1024x1024, 1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96

 

单色图像

12 bit

 

彩色图像

8-bit for RGB each

 

高度测量

16 bit

 

帧速率

表面扫描

20 Hz to 160 Hz

 

线扫描

~8 kHz

 

自动功能

自动增益

 

激光共焦测量光源

波长

405nm

 

输出

~2mW

 

激光等级

Class 3b

 

激光接收元件

PMT (光电倍增管)

 

光学观察光源

10W LED

 

光学观察照相机

成像元件

1/2” 彩色图像 CCD 传感器

 

记录分辨率

640x480

 

自动调整

增益, 快门速度, White balance

 

数据处理单元

PC

 

电源

电源电压

100 to 240 VAC, 50/60 Hz

 

电流消耗

500 VA max.

 

重量

显微镜

Approx. ~200 kg

(Measuring head unit : ~12 kg)

 

控制器

~8 kg

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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