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椭圆偏振仪都有哪些主要用途?

发布时间:2022-07-13      点击次数:667
  椭圆偏振光谱是一种表面敏感、非破坏性、非侵入性的光学技术,广泛应用于薄层和表面特征。根据薄膜样品反射的线偏振光偏振态的变化,通过模型拟合得到厚度和光学常数。根据薄膜材料的不同,可测量的厚度从几微米到几十微米不等。椭圆偏振光谱是一种很好的多层薄膜测量技术。
  
  椭圆偏振仪可以表征薄膜的一系列特性,如薄膜厚度、光学性质(n,K)、光学带隙、界面和粗糙度厚度、薄膜成分、薄膜均匀性等。采用新型高频偏振调制技术,测试过程无机械转动。与传统的椭偏仪相比,它具有更快的测试速度、更宽的测量范围和更高的表征精度。
  
 

椭圆偏振仪
 

 

  椭圆偏振仪是一种用于检测薄膜的厚度、光学常数和材料微观结构的光学测量设备。由于不与样品接触,因此不会损坏样品,也不需要抽真空,可测量的材料包括半导体、电介质、聚合物、有机物、金属和多层材料。也可应用于半导体、通讯、数据存储、光学镀膜、平板显示、科研、生物、医药等领域。
  
  椭圆偏振仪主体采用高强度钢铝结构,底座采用三维圆盘设计,并采用高精度蜗杆轴承系统,增强入射角控制精度,提高机械强度和稳定性仪器,并通过计算机控制自动改变M入射角,同时结合光谱测量。仪器的状态调整、参数设置、数据采集和数据处理均由计算机自动完成,方便用户使用。广泛应用于大学教学和工业生产,可用于研究金属、非晶、太阳能材料、非线性材料等,是一款高性价比、高集成度、高稳定性的通用型纳米薄膜厚度测量分析仪器并且操作简单。它的主要功能如下:
  
  1、各种功能材料的光学常数测量和光谱特性分析;
  
  2、测量薄膜材料的折射率和厚度;测量对象包括:金属、半导体、超导体、绝缘体、非晶、超晶格、磁性材料、光电材料、非线性材料;测量光学常数:复折射率实部虚部、复介电常数实部虚部、吸收系数a、反射率R。

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